Tektronix泰克 4200A-SCS參數分析儀
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簡介：Tektronix泰克 4200A-SCS 參數分析儀 親眼見證創新！ 4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成 的參數分析儀，可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V) 和超快速脈沖式I-V 特性。作為性能最高的參數分析儀...
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- 產品介紹
Tektronix泰克 4200A-SCS 參數分析儀是一種可以量身定制、全面集成 的參數分析儀，可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V) 和超快速脈沖式I-V 特性。作為性能最高的參數分析儀， 4200A-SCS 加快了半導體、材料和工藝開發速度。
C-V 多頻率電容單元(CVU)
高壓脈沖發生器單元(PGU)
4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的軟件提供了清楚的、不折不 扣的測量和分析功能。憑借嵌入式測量專業知識和數百項隨時 可以投入使用的應用測試，Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究過程，快速而又滿懷信心。
4200A-SCS 參數分析儀可以根據不同用戶需求進行靈活配 置，不管是現在還是未來，都可以隨時對系統進行升級。通過 4200A-SCS 參數分析儀，通往發現之路現在變得異常簡便。
主要性能指標
I-V 源測量單元(SMU)- ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
- 100 fA測量分辨率
- 選配前端放大器提供了 10 aA測量分辨率
- 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量
- 100 μF負載電容
- 四象限操作
- 2 線或 4 線連接
C-V 多頻率電容單元(CVU)
- AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)
- 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
- ± 30 V (60 V差分)內置DC偏置源，可以擴展到± 210 V(420 V 差分)
- 選配 CVIV 多通道開關，在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)
- 兩個獨立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道
- 200 MSa/s，5 ns 采樣率
- ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
- 瞬態波形捕獲模式
- 任意波形發生器 Segment ARB? 模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率
高壓脈沖發生器單元(PGU)
- 兩個高速脈沖電壓源通道
- ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
- 任意波形發生器 Segment ARB?模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關模塊 (CVIV)
- 在 I-V測量和 C-V 測量之間簡便切換，無需重新布線或抬起探針
- 把 C-V測量移動到任意端子，無需重新布線或抬起探針遠程前端放大器/ 開關模塊(RPM)
- 在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動切換
- 把 4225-PMU的電流靈敏度擴展到數十皮安
- 降低電纜電容效應
| 型號 | 描述 |
|---|---|
|
4200A-SCS-PKA 高分辨率 IV 套件 |
4200A-SCS：參數分析儀主機 4201-SMU：兩個用于高容量設置的中功率 SMU 4200-PA：一個預放大器 8101-PIV：一個帶有采樣裝置的測試夾具 |
|
4200A-SCS-PKB 高分辨率 IV 和 CV 套件 |
4200A-SCS：參數分析儀主機 4201-SMU：兩個用于高容量設置的中功率 SMU 4200-PA：一個預放大器 4215-CVU：一個高分辨率多頻 C-V 單元 8101-PIV：一個帶有采樣裝置的測試夾具 |
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4200A-SCS-PKC 高功率 IV 和 CV 套件 |
4200A-SCS：參數分析儀主機 4201-SMU：兩個用于高容量設置的中功率 SMU 4211-SMU：兩個用于高容量設置的高功率 SMU 4200-PA：兩個預放大器 4215-CVU：一個高分辨率多頻 C-V 單元 8101-PIV：一個帶有采樣裝置的測試夾具 |
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4200-BTI-A 超快 NBTI/PBTI 套件 |
用于使用尖端硅 CMOS 技術進行的復雜 NBTI 和 PBTI 測量 4200-BTI-A 套件包括：
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為材料、半導體器件和工藝開發提供最優秀的參數分析儀
使用強大的Clarius 軟件，可以更加快速的完成I-V, C-V 和脈沖I-V 測試，結果清晰明了
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